单晶圆清洗机

可扩展至 12 个腔室，吞吐量高达每小时 800 片晶圆

1. 高通量

● 堆叠式设计将 12 个腔室组合在四个三层塔中。

● 加速传输系统提供高达800 WPH 的吞吐量。

● 提高单位面积的生产率。

2. 多功能化学品供应系统

● 腔室和流体单元的成对配置以及流体单元的托盘结构便于规格变更和维护。

● SU-3200 可配备动态直喷 (DDI) 或柜式化学品供应系统，以最适合您的需求。

3. 采用 Super Clean APAC* 技术的下一代系统

● 腔体内部容积约为前代型号的三分之一。最大化的气氛置换性能确保了超高的清洁度。

● 空气平衡导轨（ABG）确保FFU 下流均匀。

● 专有的空气保护喷嘴(APN) 技术可实现无水印干燥。

● 专有的先进防溅保护（ASP）技术可最大程度地减少化学品飞溅，确保晶圆加工环境清洁。