SU-2000

单晶圆清洗机

传承高端单晶圆清洗技术，性价比卓越

1. 卓越的性价比

● 该系统继承了高端SU-3200的基本设计理念和性能，并配备了先进的处理能力。

● SU-2000 可灵活处理从标准硅晶圆到薄晶圆的各种基材。

2. 占地面积小

● 客户可以选择两个或四个室的配置，以满足其生产需求的规模。

● SU-2000（四室规格）的占地面积与我们现有的两室 MP-2000 的占地面积相比，仅增加了 14%。这大大节省了空间，并且意味着 SU-2000 可以用来替代 MP-2000。

3. 薄晶圆兼容性

● 由于功率器件、MEMS、TSV 和 BSI 传感器的使用不断增加，Screen 设计了 ​​SU-2000 来处理薄晶圆。