旋转洗涤器

先进的洗涤器具有与备受推崇的 SS 系列相同的稳定性和可靠性

1、生产率高

SS-80EX 采用 SCREEN 多年来开发的相同先进旋转洗涤器技术，同时还提供显着改进的功能。现在可以每小时高速处理多达 160 个晶圆，比当前的 SCREEN 型号提高了 111%*。 * 可能会因系统配置和处理条件而异。

2. 更大的可操作性

整个控制系统经过重新设计，现在具有专门的 GUI，可提供更简单、更直观的操作处理。这意味着日常运营处理效率的显着提高。

3. 提高稳定性

SS-80EX 采用专有的可拆卸室设计，可显着减少停机时间。通过这种设置，可以在停止的腔室上执行诸如刷子和销钉更换或杯清洁等维护程序，而其他腔室继续运行。

4、清洁工具多样

提供六种高度可靠且经过验证的清洁工具，为各种不同的目标和应用提供支持。增强的斜角清洁功能提供了刷子的高精度移动和控制。事实证明，该技术对于提高良率非常有效。

5、配置灵活

根据空间和性能要求，基本的两个头规格可扩展至最多六个头。即使在安装后也可以灵活扩展系统。