旋转洗涤器

适用于 200 mm 晶圆的旋转洗涤器，吞吐量高达 500 wph

我们用于 200 mm 的新型 SS-3200 利用我们用于 300 mm 晶圆的现有模型作为平台。 300 毫米系统已迅速成为高通量旋转洗涤器的事实上的标准。我们预计这一新模型将优化功率器件的清洁工艺，而功率器件目前是 200 mm 市场的驱动力。

特征

1、生产率高

该系统包括堆叠在两座四层塔中的八个腔室以及高速多手传送机构。这种配置的吞吐量高达每小时 500 片晶圆，比我们传统的 SS-80EX 系统快三倍多。

2.双刷臂

该系统现在配备了多种类型的刷子，可以同时使用前刷和斜刷进行清洁以及其他过程。

3. 减少去离子 (DI) 水的使用

每个室的去离子水用量比我们传统的 SS-80EX 系统少约 15%。

4. 滑出式旋转室

旋转室设计为可轻松滑出，极大地简化了维护。

5、优秀的功能扩展性

该系统可配置为处理 SMIF 和开放式盒式磁带，还可以安装可选的加热板。