旋转洗涤器

先进的传输系统可实现每小时高达 800 片晶圆的高吞吐量

1. 高通量

先进传输系统和专有算法的开发使吞吐量比传统 SS-3100 提高了约两倍。这可实现每小时高达 800 片晶圆的高吞吐量。

2. 节省空间的设计

与 SS-3100 一样，SS-3200 配备了多达 8 个处理室单元。无需增加处理室单元的数量即可实现高吞吐量，从而提供与传统系统非常相似的占地面积。

3、安装最新清洁工具，清洁能力高

SS-3200 可配备为传统系统开发的出色清洁工具。其中包括 NanosprayǺ 喷雾清洁系统，可对精细图案进行无损清洁。这些工具对提高下一代半导体器件的良率做出了重大贡献。

4. 改进的清洁支持下一代工艺

通过选择专门为小型化设计的组件以及包括综合颗粒处理措施的新生产方法，提高了 SS-3200 的清洁水平。这支持了下一代清洁工艺日益严格的清洁要求。