旋转处理器

出色的功能和可扩展性轻松应对新兴需求

1. 使用机械方法进行可靠的晶圆传输

SP-2100 采用 I-LINE 单路径传输系统。通过具有良好记录的机械传送拾放​​方法实现稳定的晶圆传送。

2.适用范围广的复合晶圆

SP-2100适用于SiC、GaN、LiTaO 3 和许多其他类型的化合物晶圆以及硅晶圆。它可以处理从 76 毫米到 200 毫米的各种晶圆尺寸。

3. 处理室（MTC/DTC）

多任务室 SP-2100 还可以使用高温强酸进行清洁和蚀刻。干燥任务室 使用 DIW 冲洗晶圆，然后进行高速旋转干燥。

4.适用于金属蚀刻工艺

当配备可选的 SCREEN 专有端点传感器时，SP-2100 可以进行高重复性的蚀刻。

5. 新的 GUI 增强了可用性

SP-2100 具有新的 GUI 和更新的控制系统，可实现简单、直观的操作。

6.可选配清洁工具进一步扩展设备兼容性

Nanospray 或 Softspray 均可作为可选的清洁工具，还可以安装表面刷用于 CMP 后清洁和其他工艺。因此，SP-2100 可以执行各种清洁过程，以满足目的和应用。