喷涂机

具有 3D 结构的灵活、优化的 MEMS 涂层

在 MEMS、SAW 和功率器件的生产过程中，对改进具有 3D 结构的器件的图案形成和材料涂层处理的要求越来越高。为了满足这些市场需求，Screen 开发了 80EX 喷涂机。多功能 80EX 支持从研究和开发到大规模生产的多种用途。在创建该系统的过程中，我们扩展了支持半导体制造系统的许多技术的应用。由此生产出一种喷涂机，能够对许多不同材料（包括具有 3D 结构的器件上的抗蚀剂和保护膜）进行灵活、优化的涂覆。

1.阶梯和通孔基板的涂层

Screen的专有喷涂技术能够在不平坦的阶梯和通孔基板上稳定、均匀地处理抗蚀剂和保护膜，这是旋涂机难以实现的结果。

2. 使用最少的化学品喷涂厚膜涂层

它通过多次扫描涂覆低粘度抗蚀剂以形成厚膜，与旋涂机相比，这大大减少了化学品消耗。

3. 灵活的系统配置

可以构建灵活、优化的系统配置，以适应从研发到批量生产的任何应用。

4. 高通量

专有传输系统和多个处理单元的结合使其能够实现令人印象深刻的吞吐量水平。

5. 由于维护简单，停机时间最短

喷涂机的结构经过专门设计，结构简单，可以更轻松地更换维护期间需要更换的部件。使用控制机制来限制雾气扩散还可以最大限度地减少喷涂机内部的污染。这些功能简化了维护并有助于减少停机时间。

规格