涂层/显影轨道

推出下一代功率器件和汽车器件的涂层/开发轨道系统

通过高生产率、小占地面积、改进的维护和可操作性以及环保处理来支持 GX，为设备行业做出贡献。

这些系统继承了 SCREEN SPE 多年来改进的丰富的先进涂层/显影轨道技术，并提供出色的生产率和更小的占地面积。它们还明显更加环保，可显着减少晶圆涂覆过程中的抗蚀剂消耗以及整个制造过程中的电力消耗。

特征

1. 处理传统工艺和 DUV 工艺的可扩展性和灵活性

针对 200mm 晶圆的专用设计可实现小占地面积和 DUV 工艺。它兼容现有设备的更换和新工厂的安装。

2. 300毫米单元技术重新部署到新的150-200毫米专用平台系统中

该平台专为200mm全新设计，继承了现有系统针对300mm培育的多级配置技术。此外，它利用尖端设备的单元加工技术实现了占地面积小和高生产率，例如由于提高了可维护性而减少了化学品消耗、颗粒、缺陷和停机时间。

RF-300EX

1. 对于薄晶圆

专门用于薄晶圆的晶圆传输和固定机构提供涂层/显影过程，而不会损坏薄晶圆。

2. 处理用于抗蚀剂、聚酰亚胺、SOC 和其他应用的各种化学溶液

RF-300EX 通过根据化学品的类型和粘度选择分配系统来灵活处理化学品。与 RF-200EX 一样，该系统使用尖端设备的单元处理技术来提高处理性能，例如减少化学品消耗、颗粒和缺陷。