紫外线臭氧清洗机 UV-1

概要

UV-1是一款紧凑型台式紫外线臭氧清洗机。该系统将紫外线照射、臭氧和平台加热独特地结合在一起，温和而有效地去除硅、玻璃、化合物半导体（GaN、GaAs、InP、SiC）、蓝宝石、陶瓷等各种基材上的有机物。

主要特点和优点

• 最大加工尺寸为ø100 mm（4英寸）。
• 加热阶段加快了清洗速度，实现了宽广的工艺温度范围。
• 紧凑，使用最小的台式空间
• 简单，在大气压下操作--不需要真空系统。
• 柔软、完全干燥的工艺不会对基材造成电损伤。
• 盖子联锁保证了当盖子打开时，系统无法运行。
• 臭氧催化剂装置，用于将废气中的臭氧浓度降低到安全水平。
• 安全性能自动N₂净化循环、加热级保险丝保护、臭氧洗涤器和紧急停止开关。

应用

• 塑料包装和引线框架的表面清洁。
• 复合半导体(GaN、GaAs、InP和SiC)的表面清洗。
• 表面改性（润湿性和附着力的改善
• 表面氧化(薄氧化层沉积)
• 光阻剂的灰化、剥离和除尘。
• 清除有机污染物
• 紫外线固化