深硅蚀刻设备 RIE-400iPB

概要

RIE-400iPB是一款电感耦合等离子体放电设备，用于博世MEMS和电子元件工艺中的高速硅深孔加工。RIE-800iPB是为研究和开发目的而改装的。该系统由Robert Bosch GmbH（德国）授权，能够对MEMS和TSV所需的硅进行高速和高各向异性蚀刻。

主要特点和优点

• 可以实现高速硅深孔加工 　它具有独特的等离子体源和反应器结构，支持博世工艺，可实现硅的快速深钻。
• 保持速度，减少扇形 　通过高速切换气体，可以在保持蚀刻速度的同时减少扇形。
• 可以进行SiO₂的蚀刻 　可以通过更换专用ICP线圈来处理SiO₂。

应用

• MEMS的制造（加速度传感器、陀螺仪、压力传感器、执行器等）
• μTAS等医疗设备的加工