概要

PC-300是一种平行板式等离子清洗机，用于清洗样品表面的有机和无机污染。 该工艺室允许用户安装多个电极架，架式电极配置的灵活性支持从研究到小批量生产的各种产品的批量处理。

主要特点和优点

• 最大加工尺寸为320mm x 230mm
• 灵活的架式电极可以在RIE或等离子体蚀刻模式下处理各种样品。
• 凭借其时尚、紧凑的设计，PC-300需要最小的空间。
• 全自动 "一键式 "操作，可完全手动操作。
• 带触摸屏的PLC控制器提供直观的图形界面
• 干式泵和系统布局便于维护。
• 可靠和耐用的系统，全球安装了150多个系统。

应用

• 塑料包装和引线框架的表面清洁。
• 光学元件和模具的精密清洗
• 表面改性（润湿性和附着力的改善
• 光阻剂的灰化、剥离和除尘。
• 清除有机污染物