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RIE-200NL
RIE-200NL 是一款负载锁式反应离子蚀刻系统，可提升工艺重复性，并支持腐蚀性气体化学工艺。经过优化的工艺模块和真空传输结构有助于稳定晶圆处理过程。
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RIE-200NL 是一款负载锁式反应离子蚀刻系统，可提升工艺重复性，并支持腐蚀性气体化学工艺。经过优化的工艺模块和真空传输结构有助于稳定晶圆处理过程。
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