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RIE-200C
RIE-200C 是一款面向量产的卡匣式系统，基于 Samco CCP RIE 系统 RIE-10NR 的交付经验开发。该系统面向稳定批量处理，适用于需要提高自动化和处理效率的反应离子蚀刻工艺。
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RIE-200C 是一款面向量产的卡匣式系统，基于 Samco CCP RIE 系统 RIE-10NR 的交付经验开发。该系统面向稳定批量处理，适用于需要提高自动化和处理效率的反应离子蚀刻工艺。
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