卡匣装载式 CCP-RIE 等离子蚀刻设备 RIE-200C

Name: 卡匣装载式 CCP-RIE 等离子蚀刻设备 RIE-200C
Brand: Samco
SKU: https://www.samco-plasma.cn/products/etching/ccp_rie/Cassette_Loading_CCP-RIE_Plasma_Etcher_RIE-200C.php
Availability: InStock

RIE-200C

RIE-200C 是一款面向量产的卡匣式系统，基于 Samco CCP RIE 系统 RIE-10NR 的交付经验开发。该系统面向稳定批量处理，适用于需要提高自动化和处理效率的反应离子蚀刻工艺。

品牌: Samco产地: 日本价格: 面议服务区域: 全国

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概要

主要特点和优点

卡匣式装载结构，适合量产流程。
基于 CCP RIE 系统 RIE-10NR 的工艺经验开发。
面向稳定、重复的晶圆处理。
支持自动化工艺运行。

应用

半导体晶圆量产流程中的反应离子蚀刻。
Si、SiO2、SiN、Poly-Si 等材料的薄膜蚀刻。

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卡匣装载式 CCP-RIE 等离子蚀刻设备 RIE-200C

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