PEROVSKITE 系列薄膜沉积平台

产品信息

专为优化钙钛矿器件真空加工而设计的薄膜沉积平台

Kurt J. Lesker Company® PEROVSKITE 系统系列是先进的薄膜沉积平台，专为最大 210 mm x 210 mm 的基材而设计，利用 eKLipse 控制软件进行精确的流程管理。 PEROVSKITE 系列扩展了 SPECTROS 架构的功能，其腔室专门针对真空钙钛矿沉积进行了优化。该系统采用增强的泵保护和冷却罩，以减轻交叉污染并解决钙钛矿前体的挥发性问题。

钙钛矿器件在过去十年中出现，成为商业太阳能和半导体市场中潜在的高度颠覆性技术。进展很快，目前的钙钛矿太阳能电池（PSC）已经表现出与类似硅基器件相当的性能，而硅-钙钛矿串联结构的效率大大超过了单独的硅。

钙钛矿前驱体材料的真空蒸发可能具有挑战性，需要周密的系统设计和开发硬件组件来满足应用的要求。

人工智能就绪

在这项开创性工作中使用了 Kurt J Lesker 物理气相沉积工具，该工具首次报道了真空蒸发作为金属卤化物钙钛矿 (MHP) 薄膜的可行加工技术，从那时起，我们的工具就广泛用于钙钛矿太阳能电池研究。

对钙钛矿器件真空加工工具感兴趣？然后让我们看看您需要的关键构建块：

KJLC 双楔形工具可将单个基材转变为多个基材，无需破坏真空或复杂的掩模。这种组合（在单个基板上生产具有不同材料和厚度的多个基板）方法减少了昂贵且漫长的研究时间，允许在几天而不是几个月内完成大量基板变化。

多达 16 个 LTE 源、四个热蒸发源、掩模更换和双楔形工具。

钙钛矿系列系统的可用功能

惰性环境

我们的整个产品线专为无缝手套箱集成而设计，支持惰性气氛的创建和维护，从而能够精确操作和评估对空气敏感的化合物和设备。这确保了最佳的样品完整性，并最大限度地降低了需要受控环境的过程的污染风险。