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AXXIS Thin Film Deposition System Platform
AXXIS™ - 促进多种沉积技术和高效共沉积薄膜！
科桥实验提供 Kurt J. Lesker AXXIS Thin Film Deposition System Platform 的型号核对、选型咨询、报价沟通、采购支持、安装培训和售后协同服务。
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AXXIS™ - 促进多种沉积技术和高效共沉积薄膜！
阿尔伯塔大学使用我们的 AXXIS 进行掠射角沉积 (GLAD)。
自动化您的实验室。
特征
18" 直径 x 15" 深圆柱形 304 不锈钢腔室
六个径向处理端口
铰链前载门
门或端口安装的基板固定装置
涡轮分子泵或低温泵
最多可配备 6 腔 5.5kW 电子束源
最多可提供三个热蒸发源
可选离子源
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