产品信息

自动化您的实验室。

Kurt J. Lesker Company® OCTOS 集群工具是经过验证的研发和试生产系统，适用于多个工艺室之间的真空传输。

典型应用包括磁隧道结和自旋逻辑器件（GMR、TMR、MRAM、STT）、有机发光器件（OLED）、太阳能电池（PV、OPV）。

OCTOS 集群工具具有单个或多个基板盒装载锁，允许在真空中完成工艺配方步骤，而无需将基板暴露在大气中。 OCTOS 能够自动一次顺序处理一个基板或并行处理基板，以提高吞吐量。具有基材跟踪能力，全过程数据记录是标准配置。

处理室围绕中央机器人分配室排列，以满足您的应用需求。

KJLC 的 eKLipse 软件允许用户友好的配方创建以及可靠、不间断的控制器，无论计算机用户界面的状态如何，都可以完成流程。有关此直观、独特且可靠的软件包的更多信息，请参阅软件选项卡

KJLC 自 1999 年以来一直在制造 OCTOS 集群工具平台。我们的大多数 OCTOS 集群工具已成为其所有者的主力，并且仍在日常使用中，其中包括已处理超过一百万个基板的工具。

提供的技术：

电子束蒸发

热蒸发

磁控溅射

有机蒸发