产品信息

适用于高精度薄膜应用的先进批量溅射

概述

KDF 设计并制造了一些当今最可靠的在线溅射系统。每个系统都旨在为众多行业提供高吞吐量、流程多功能性和低拥有成本，包括：

主流硅片

新兴材料

平板显示器

光通信

医疗器械

KDF 的在线批量溅射平台比集群工具更易于操作和维护。这些系统在薄膜均匀性、产量一致性、工艺稳定性和工具正常运行时间方面提供了可测量的改进。客户受益于增强的自动化、提高的可靠性以及改善的环境健康和安全性能。

KDF 与客户密切合作，开发满足特定生产目标的定制解决方案。无论是优化吞吐量、投资回报还是上市时间，KDF 都支持所有现有设备的升级和改造。作为 MRC 批量系统的 OEM，KDF 还为全球 MRC 产品提供完整的零件和服务支持。

974i 系列亮点

974i 系列旨在满足最苛刻的生产要求，同时提供研发系统中常见的灵活性。这些工具非常适合均匀性和可重复性至关重要的应用关键型设备中的薄膜沉积。