产品信息

适用于关键应用薄膜的精密批量溅射

概述

KDF 是领先的在线溅射系统开发商和制造商，以在各行各业提供可靠、高通量的解决方案而闻名。所有 KDF 系统均经过精心设计，以业界最低的拥有成本实现多功能性和性能。这些系统广泛应用于：

主流硅片

新兴材料

平板显示器

光通信

医疗器械

KDF 的在线批量溅射平台比集群工具更易于操作和维护。它们在薄膜均匀性、产量一致性、工艺稳定性和工具正常运行时间方面提供了可测量的改进。客户还受益于增强的自动化、环境健康和安全性能以及丰厚的投资回报。

KDF 与客户密切合作，开发满足特定生产目标的定制解决方案。无论是针对吞吐量、投资回报率还是上市时间进行优化，KDF 都支持所有现有设备的升级和改造。作为 MRC 批量系统的 OEM，KDF 还为全球 MRC 产品提供全面的零件和服务支持。

900i 系列亮点

900i 系列包括 903i、943i、943ix、954i 和 954ix 型号，旨在满足最苛刻的生产要求，同时提供研发系统中常见的流程灵活性。这些工具非常适合均匀性和可重复性至关重要的应用关键型设备中的薄膜沉积。