Large Batch Treatment Equipment AdvancedAce®-300
AdvancedAce ® -300 是 KOKUSAI ELECTRIC 最新的 300mm 晶圆批量热处理平台。 AdvancedAce ® -300 利用温度控制、晶圆处理自动化、反应器净化等领域的先进技术提供高吞吐量。
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低压化学气相沉积
低压化学气相沉积
氧化
氧化
扩散
扩散
退火（低温/高温）
退火（低温/高温）
AdvancedAce ® -300 是 KOKUSAI ELECTRIC 最新的 300mm 晶圆批量热处理平台。 AdvancedAce ® -300 利用温度控制、晶圆处理自动化、反应器净化等领域的先进技术提供高吞吐量。
实现高生产率：一次性处理大批量提高 1.5 倍（*）（* 与以前的型号相比）
实现高生产率：一次性处理大批量提高 1.5 倍（*）（* 与以前的型号相比）
能够将保形薄膜放入深沟槽中
能够将保形薄膜放入深沟槽中
实现了高精度、高质量的低温成膜
实现了高精度、高质量的低温成膜
健康检查功能（选配）
健康检查功能（选配）
*AdvancedAce是KOKUSAI ELECTRIC CORPORATION的注册商标。
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