SIRD
机器人将晶圆从载体转移到测量台。载体可由操作员放置或通过 OHT 自动放置。
科桥实验提供 PVA TePla SIRD 在全国范围内的型号核对、选型咨询、报价沟通、采购支持、安装培训和售后协同服务，价格面议。
微信扫码咨询
扫码添加技术顾问，发送产品型号、设备图片或应用需求。
功能说明
机器人将晶圆从载体转移到测量台。载体可由操作员放置或通过 OHT 自动放置。
该工具会自动调整以获得最佳测量设置，而与材料的掺杂等级无关。
根据预定义的测量协议记录数据，详细说明感兴趣的区域、分辨率和测量模式。
测量后，晶圆返回到载体，并开始对测量图进行自动分析。
生成数字数据，例如按类型或强度划分的缺陷计数以及可定制的报告，并根据需要通过标准 SECS/GEM 协议发送到主机。
下载产品传单
请填写必填信息，我们将在工作日尽快回复。
