产品信息

功能说明

机器人将晶圆从载体转移到测量台。载体可由操作员放置或通过 OHT 自动放置。

该工具会自动调整以获得最佳测量设置，而与材料的掺杂等级无关。

根据预定义的测量协议记录数据，详细说明感兴趣的区域、分辨率和测量模式。

测量后，晶圆返回到载体，并开始对测量图进行自动分析。

生成数字数据，例如按类型或强度划分的缺陷计数以及可定制的报告，并根据需要通过标准 SECS/GEM 协议发送到主机。

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