产品信息

优点

经济高效的运营：通过智能设计、模块化组件和低维护要求降低总体拥有成本 (TCO)。

内置可维护性：模块化设计、远程支持和低维护硬件可确保高正常运行时间和轻松维护。

用户友好的界面：即使没有椭偏仪经验，通过具有自动校准和分析功能的直观界面也可确保轻松操作。

灵活集成：非常适合研发或集成到生产线中，支持 SEMI 自动化和 SECS/GEM。

无背面反射：(SiC) 对 SiC 晶圆进行精确薄膜分析，消除背面反射带来的误差，获得可靠的结果。

AlGaN 浓度：通过先进的能带边缘分析准确测定 AlGaN 层中的铝含量。

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