SAM Auto Tray
主要应用包括检测粘合界面中的空隙、夹杂物和分层，以及识别多层结构中的层厚度变化。此类缺陷可能发生在组件的不同层中。在大规模生产中，高吞吐量至关重要。因此，专有软件支持同时检测多层。此外，还可以使用多个传感器、全托盘扫描和优化的托盘处理。
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主要应用包括检测粘合界面中的空隙、夹杂物和分层，以及识别多层结构中的层厚度变化。此类缺陷可能发生在组件的不同层中。在大规模生产中，高吞吐量至关重要。因此，专有软件支持同时检测多层。此外，还可以使用多个传感器、全托盘扫描和优化的托盘处理。
SAM 自动托盘 - 特点
SAM Auto Tray 是用于在线过程诊断和过程控制的客户特定解决方案，由于具有以下功能，可以集成到任何生产环境中：
JEDEC 托盘在线检测
洁净室兼容性高达 10 级
集成数据分析和自动化
通过 SECS 接口进行软件和晶圆厂通信
工艺用水脱气系统
带电导率监测的自动换水
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