VEpioneer 系列薄膜检测系统

产品信息

完全集成的一键式台式高光谱视觉系统，开箱即可使用

单次无损全表面 (100%) 检测

不到 10 秒即可快速测量

层厚度检测范围为 1 nm 至 500 µm，具体取决于层材料

对缺陷、污染物和表面特性进行空间分辨识别

与多种基材兼容：半导体、金属、聚合物、陶瓷、玻璃等

通过 VEsolve® pro 软件进行集中控制和评估

VE先锋宏

专为宏观检查而设计的紧凑型台式系统

可容纳最大 360 × 360 毫米的样品尺寸

空间分辨率为 100 - 300 µm，提供高分辨率扫描模式

定制样品台和多功能定制选项