VEgauge 薄膜检测系统

产品信息

完全可定制的在线检测系统，用于宏观和微观表面检测

空间分辨率从亚微米到米范围，根据您的特定工艺要求量身定制

由您的生产设置定义的视野、样本大小和系统尺寸

近实时评估以实现快速过程反馈

对薄膜、缺陷、污染物和表面粗糙度进行无损全表面 (100%) 检查

1 nm 至 500 µm 的层分析，针对您的材料堆栈进行配置

特定基材校准：半导体、金属、聚合物、陶瓷、玻璃等

可扩展用于并行生产线：同时部署多个系统，每个系统单独配置

无缝集成到现有的生产工作流程中

通过 VEsolve® pro 软件进行集中数据管理和控制

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