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GIGAbatch 360/380P
等离子系统 GIGAbatch 360P 和 380P 适用于半导体行业最具挑战性的要求，并使用相同的腔室几何形状。 360P型号的腔室直径为245毫米，最多可容纳50片直径为150毫米的晶圆。在 380P 系统中，腔室的内径为 300 毫米，因此可容纳 25 个直径为 200 毫米的晶圆。与 M 系列系统的不同之处在于 P 系统与高达 100 级洁净室的要求兼容。
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等离子系统 GIGAbatch 360P 和 380P 适用于半导体行业最具挑战性的要求，并使用相同的腔室几何形状。 360P型号的腔室直径为245毫米，最多可容纳50片直径为150毫米的晶圆。在 380P 系统中，腔室的内径为 300 毫米，因此可容纳 25 个直径为 200 毫米的晶圆。与 M 系列系统的不同之处在于 P 系统与高达 100 级洁净室的要求兼容。
GIGAbatch 380P 是一款用于装载和卸载整批晶圆的全自动系统。
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