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GIGAbatch 360/380M
专为生产应用而设计
科桥实验提供 PVA TePla GIGAbatch 360/380M 的型号核对、选型咨询、报价沟通、采购支持、安装培训和售后协同服务。
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优点
紧凑型设计
专为生产应用而设计
拥有成本极低
符合洁净室要求的玻璃前面板
多功能基材处理（2" 至 8"）
高吞吐量（每次运行最多 75 个晶圆）
包括定制晶圆支撑臂
用于晶圆装载的电动门
装载过程中不与等离子体室接触
也可根据要求提供
过程压力主动控制装置 (DSC)
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