产品信息

主要特点

定制电极几何形状与基材尺寸、形状和材料精确匹配，实现无与伦比的均匀性和过程控制

真正的原子层精度或高速率蚀刻/活化/沉积恰好在您需要的地方 - 这是传统平行板或现成系统不可能实现的

集成先进功能，包括高性能 PECVD、多区气体输送和专门的前驱体注入

对于给定的定制室体积和功能，尽可能最小的洁净室占地面积

完整的交钥匙解决方案：以 PVA TePla 50 多年工业等离子体专业知识为后盾的工艺开发、认证和长期服务