产品信息

配置

80 Plus2.45 GHz 化学蚀刻特性条带式自动化满足平面大型等离子室

80 Plus IoN，具有 RF 13.56 MHz，通过离子轰击进行物理表面处理

80 Plus HS2，45GHz 化学蚀刻特性带式自动化，具有独特的真空室和平面大型等离子处理室

80 Plus HS IoN with RF 13.56 MHz 通过离子轰击进行物理表面处理

特征

80 PLUS 和 80 PLUS HS 等离子系统是自动化解决方案，具有巧妙的装载/卸载自动化功能，可在等离子室中运输带状产品或晶圆。该系统满足消除操作员错误并通过高效率节省人力资源的所有要求。

优点

80+

全自动带材处理

先进的主机通信能力

基板尺寸可以有很大的变化