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Precise Process Control and Highest Purity
在此过程中可以使用相机监控晶体直径和熔化区的高度。由于采用非接触式熔化——涡轮分子泵产生的高极限真空以及使用超纯氩气作为工艺气氛——有效防止了工艺过程中的污染。
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在此过程中可以使用相机监控晶体直径和熔化区的高度。由于采用非接触式熔化——涡轮分子泵产生的高极限真空以及使用超纯氩气作为工艺气氛——有效防止了工艺过程中的污染。
大晶体的生长
对于大晶体的生长，FZ-35 中可以产生超压高达 5 bar 的氩气气氛。上主轴和线圈均可自动定位。除了氩气之外，还可以将氮气引入到处理室中。可选功能包括用于晶体掺杂的气体掺杂系统、封闭式去离子冷却水系统、用于处理源棒的成形器以及用于调整籽晶取向的系统。
主要特点
方面
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