FZ-14M/FZ-14MG
生产过程中产生的小多晶样品在氩气气氛中感应熔化，并在晶种上结晶成单晶。然后使用光谱分析方法进行分析。这样可以确定并记录所生产的多晶硅的质量。由于采用非接触式熔化——涡轮分子泵产生的高极限真空以及使用超纯氩气作为工艺气氛——有效防止了工艺过程中的污染。
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生产过程中产生的小多晶样品在氩气气氛中感应熔化，并在晶种上结晶成单晶。然后使用光谱分析方法进行分析。这样可以确定并记录所生产的多晶硅的质量。由于采用非接触式熔化——涡轮分子泵产生的高极限真空以及使用超纯氩气作为工艺气氛——有效防止了工艺过程中的污染。
在 FZ-14MG 版本中，硅颗粒可以放置在线圈下方，并使用上部进料处的籽晶，可以在反向拉制方向的过程中拉制用于材料分析的单晶。为此，上主轴可以在 X 和 Y 方向上移动。
主要特点
方面
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