产品信息

六角钢

尽管我们坚信铝作为 PVD ​​腔室首选材料的优势，但我们意识到使用不锈钢腔室有一些好处：

增强的耐化学性和耐腐蚀性

更高的热稳定性

增加耐用性

烘烤潜力

HEX Steel 适用于 HEX 和 HEX-L 型号，并提供与铝基系统完全相同的模块化性。

每个面板均通过 O 形圈密封且可拆卸。唯一显着的区别是由于其重量增加和更高的安全问题，将腔室固定到电子机架或底座上。这意味着 HEX Steel 不能作为台式系统安装，而必须保持安装在腔室控制架上。

集成机架可实现更整洁的电缆管理，所有水管、电源线和百叶窗控制器均保留在机架宽度和总体占地面积内。

如果您认为您的研究将受益于模块化钢沉积系统，请立即联系我们。

使用源进行定制

大多数薄膜沉积系统的功能有限。 HEX 系列可满足您的需求。我们有多种沉积源来定制系统中使用的源，无论您选择不锈钢还是铝室。

HEX 系列薄膜沉积系统为您的研究和实施应用提供了独特、多功能的沉积选项。无论您的研究带您走向何方，HEX 系列都将伴您左右。