产品信息

六角系列

我们系统的开放式框架设计是 HEX 系列灵活性的基石。无论您的应用是什么，或者您的研究方向如何，HEX 系列都可以轻松调整或重新配置以适应需要。

十六进制-L

六角-XL

台式或机架式紧凑型系统

最大样品尺寸直径：4 英寸（100 毫米）

沉积源：最多 3 个

磁控溅射尺寸（直径）：2"

腔室容积：12 L -（堆叠时为 24 L）

基础压力：5×10-7 mbar*

*最终基础压力基于工厂测试的系统。随后的基础压力取决于多种因素，例如腔室清洁度、用户操作和实验室环境。

移动底座安装系统

最大样品尺寸直径：6 英寸（150 毫米）

沉积源：最多 6 个

磁控溅射尺寸（直径）：2" 或 3"

腔体容积：50L - （堆叠时100L）

基础压力：<5×10-7 mbar*

更大的移动底座安装系统

最大样品尺寸直径：最大 12 英寸（300 毫米）

磁控溅射尺寸（直径）：3" 或 4"

腔室容积：86 L -（堆叠时为 172 L）

面向未来的流程的完全灵活性

HEX 系列为您的工艺提供了完全的灵活性。无论您需要标准型、L 型还是 XL 型，所有系统都面向未来。

轻松升级或修改。在系统生命周期的任何时刻添加源，无需长时间的系统停机。