FLEXion 200/400、FLEXion 400-SiC 离子注入机

产品信息

中电流生产注入机用于：

射频和功率器件、传感器、光电制造

Si、SiC、GaAs、GaN、LiTaO3 上

, 碲镉汞, 铌酸锂

，InP…

FLEXion 200/400、FLEXion 400-SiC

满足制造商对化合物半导体的需求

和 SiC 组件，IBS 设计了一系列注入机，避免

300 mm Si 机器的成本高昂，复杂性降级为 SiC。

高束电流

长寿命离子源（>300 小时）

增强型单或

多电荷铝

光束产生

高分辨率

用于多电荷和高 AMU 光束的分析仪磁铁

650℃

SiC 快速升温/降温平台

优化吞吐量

非硅材料

四种植体，自动调节多达 10 次链式种植

从优惠券到 200 毫米，并行扫描 200 毫米晶圆

高达 1.2 MeV

高效离子源（间接加热阴极，ECR）

多达 8 种不同的注入气体