产品信息

AWB 对准机键合机可在单个腔室内提供完整的键合过程控制，非常适合研发和高产量生产。

键合机提供了出色的灵活性，并提供了适用于各种键合技术的功能。它标配独特的原位光学晶圆对晶圆对准系统，对准精度为 1μm。

航空运单 04

航空运单08

系统示意图。

下图展示了 AWB 室内的组件。

航空运单的主要特点。

原位对准、独立晶圆加热和自由基激活是该系统提供的许多有价值的功能之一。

该系统占地面积紧凑，意味着所需的洁净室空间极小。

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