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NE-550EXa
产品信息 蚀刻多层膜深度氧化物蚀刻 RISE 系统 多层膜 深度氧化蚀刻 上升系统 蒸发 离子注入机 等离子灰化 真空炉 多层膜等离子蚀刻系统 NE-550EXa是一款多用途高密度、低压等离子刻蚀系统,具有良好的均匀性和重复性。该系统能够蚀刻许多材料,包括: III-V族、金属、陶瓷和光学材料。
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蚀刻多层膜深度氧化物蚀刻 RISE 系统
多层膜
深度氧化蚀刻
上升系统
蒸发
离子注入机
等离子灰化
真空炉
多层膜等离子蚀刻系统
NE-550EXa是一款多用途高密度、低压等离子刻蚀系统,具有良好的均匀性和重复性。该系统能够蚀刻许多材料,包括: III-V族、金属、陶瓷和光学材料。
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