产品信息

蚀刻

蒸发

离子注入机

等离子灰化 Enviro Luminous NA

环境

夜光NA

真空炉

扇出面板级灰化

NA-1500 等离子灰化系统专为处理扇出面板级封装所需的较大基板而设计。

ULVAC NA-1500 为先进半导体制造提供无与伦比的精度和可靠性。它专为高通量生产而设计，结合了卓越的过程控制、一致性和可重复性，以满足下一代设备的苛刻要求。 NA-1500 具有灵活的工艺能力、低拥有成本和强大的系统稳定性，是寻求可扩展、高性能干法蚀刻技术的制造商的理想解决方案。