NA-1500
产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 Enviro Luminous NA 环境 夜光NA 真空炉 扇出面板级灰化 NA-1500 等离子灰化系统专为处理扇出面板级封装所需的较大基板而设计。 ULVAC NA-1500 为先进半导体制造提供无与伦比的精度和可靠性。
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蚀刻
蒸发
离子注入机
等离子灰化 Enviro Luminous NA
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夜光NA
真空炉
扇出面板级灰化
NA-1500 等离子灰化系统专为处理扇出面板级封装所需的较大基板而设计。
ULVAC NA-1500 为先进半导体制造提供无与伦比的精度和可靠性。它专为高通量生产而设计，结合了卓越的过程控制、一致性和可重复性，以满足下一代设备的苛刻要求。 NA-1500 具有灵活的工艺能力、低拥有成本和强大的系统稳定性，是寻求可扩展、高性能干法蚀刻技术的制造商的理想解决方案。
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