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NE-5700
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产品信息 蚀刻多层膜深度氧化物蚀刻 RISE 系统 多层膜 深度氧化蚀刻 上升系统 蒸发 离子注入机 等离子灰化 真空炉 大容量干法蚀刻 适用于大批量生产的干法蚀刻系统,具有良好的性价比和广泛的工具配置选择。
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