ENVIRO-1Xa 2C
产品信息 蚀刻 蒸发 离子注入机 等离子灰化 Enviro Luminous NA 环境 夜光NA 真空炉 完美的双室灰化系统 该系统可以处理100mm – 300mm的晶圆尺寸。该多功能平台能够在专用处理室中同时运行两种不同尺寸的晶圆。
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蚀刻
蒸发
离子注入机
等离子灰化 Enviro Luminous NA
环境
夜光NA
真空炉
完美的双室灰化系统
该系统可以处理100mm – 300mm的晶圆尺寸。该多功能平台能够在专用处理室中同时运行两种不同尺寸的晶圆。每个腔室均配有高效下游等离子体源，具有高速光刻胶去除能力、> 10 µm/min 灰化速率，并且具有可重复性和可靠性。两室系统的紧凑设计提供高通量、低成本和低拥有成本
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