产品信息

蚀刻

蒸发

离子注入机

等离子灰化 Enviro Luminous NA

环境

夜光NA

真空炉

理想的研发和中试生产晶圆灰化机

ENVIRO-1Xa - 吞吐量最高、占地面积最小、成本最低的抗蚀剂剥离系统。这种单室灰化系统的 CoO 是当今市场上所有灰化系统中最低的。