产品信息

NIL-SFT 12 系列印章制作工具能够快速、精确地生产具有出色图案保真度的高分辨率压印印章。 NIL-SFT12 系列与 SUSS 纳米压印设备一起提供可扩展的纳米压印制造、高覆盖精度、严格的 CD 控制以及每个印模的低成本。它专为生产而设计，可确保高产量并无缝集成到工业压印工作流程中。

在创纪录的时间内完成高质量印章制造

NIL-SFT12 系列可显着缩短处理时间。通过优化的紫外线辐照度和整个曝光区域出色的光均匀性，可以从几小时缩短到几分钟。该系统专为与各种紫外线固化材料兼容而设计，可确保高工艺稳定性，最大​​限度地减少缺陷形成，并支持可重复的高保真印章制造。

显着收紧的平面度公差使得新型超平面模具成为可能。其结果是减少了压印变化并降低了缺陷密度。该工具建立在先进材料、精密制造和合格的供应商网络的基础上，可在晶圆级提供稳定、可重复的性能。

专用的印章制造解决方案无需在印章生产过程中占用高价值的压印系统。这释放了关键的工具容量，提高了整体设备利用率，并显着降低了整个纳米压印制造流程的拥有成本。

该系统专为大规模压印光刻而设计，将 200mm NIL-SFT8 系列的成熟概念扩展到 300mm 晶圆。它集可靠性、可扩展性和精度于一体，支持先进纳米压​​印应用的高通量、高保真印章制造。

适合任何规模的精致印章

NIL-SFT12 系列印章制作工具的主要特点

超平坦、高保真印章制造的优势得益于精心设计的系统功能。探索使精确、高通量和可靠的纳米压印印章生产成为可能的技术亮点。

该系统具有低至 2 µm 的卓越卡盘平面度，可确保整个印模区域的均匀接触和固化。这直接减少了常见缺陷，例如未填充和滞留空气，从而提供更高的产量和始终可靠的纳米压印结果。

该系统可提供高达 200 mW/cm² 的功率，均匀性优于 ±5%，可实现快速、精确控制的固化。与传统的汞灯不同，它提供一致的结果，没有热点或不均匀曝光，从而提高了工艺可靠性和印章质量。

这种灵活的系统支持紫外线和热印章制造，并具有可升级的模块以适应不断变化的工艺要求。它简化了操作，减少了设备占地面积，并实现了流程类型之间的无缝转换。