产品信息

AutoWafer 所安装的晶圆应用比所有其他自动超声波测试工具的总和还要多，它为 100mm 至 200mm 的晶圆（包括单批次中的多种尺寸）提供了完整的、可立即投入生产的晶圆扫描仪。

自动晶圆

特征

AutoWafer 是一款超声波晶圆扫描仪，用于在开发和生产环境中对晶圆进行无损测试 (NDT)，可对 MEMS、CMOS、存储器、TSV 和 LED 等晶圆应用中的键合缺陷进行高分辨率识别。机器人盒处理和对批准和失败的晶圆进行分类有助于加快生产速度，而我们先进的传感器和自动分析工具可以快速轻松地识别最小、最微妙的缺陷。

用于检测晶圆间键合缺陷的理想自动超声波测试系统

一款全自动、可立即生产的晶圆扫描仪，适用于 MEMS、CMOS、BSI 传感器、存储器、TSV、LED 和其他采用 200 毫米或更小的晶圆的应用

提供带有芯片级通过/失败指示器的晶圆图（可选）

提供分析（可选）

200mm SECS/GEM

TSV 根深蒂固的计量学