Raith ELPHY SEM/FIB-SEM 纳米图形升级套件产品信息

Raith ELPHY 可用于光刻、曝光与图形化相关场景。当前页面根据公开资料整理设备名称、品牌型号、用途线索和选型沟通方向，便于客户进行型号检索、方案初筛和采购询价。

产品信息 ELPHY 用于将 SEM 或 FIB-SEM 升级为先进纳米光刻平台。 官网将其描述为 nanopatterning upgrade kit。

选型沟通要点

• 确认样品类型、测试目标、工艺环节、通量要求和数据输出方式。
• 核对主机配置、附件、软件、耗材、安装条件和售后支持范围。
• 如用于替换或扩展平台，请同步现有设备型号、接口条件和现场空间要求。