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PlasmaPro 800 PECVD
Oxford Instruments PlasmaPro 800 PECVD PECVD 沉积系统。The PlasmaPro 800 offers a flexible solution for Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD) processes on large wafer batches and 300mm wafers, in a compact footprint, open-loading system.
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Oxford Instruments PlasmaPro 800 PECVD PECVD 沉积系统。The PlasmaPro 800 offers a flexible solution for Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD) processes on large wafer batches and 300mm wafers, in a compact footprint, open-loading system.
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