FWPX cryogenic probe station
最大晶圆样品尺寸：4英寸
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最大晶圆样品尺寸：4英寸
用于快速探测的示例翻译
可定制以接受 6 英寸晶圆
Lake Shore 的 FWPX 探针台专为需要大尺寸晶圆探测的研究人员而设计。 FWPX 可容纳直径达 102 毫米（4 英寸）的晶圆，并可进行修改以接受最大 152 毫米（6 英寸）的晶圆。该通用探针台专为对大样本进行材料表征测试的研究人员或工程师而设计。它也是测量有机材料的有效单位。
FWPX 采用连续制冷系统，使用液氦或液氮进行晶圆冷却。它的工作温度范围为 4.5 K 至 420 K，并且可以选择将基础温度扩展到 3.5 K。I-V、C-V 和微波测量是标准配置。该站可配置多达六个热锚定微操作探针臂，并针对电光测试进行了优化设计。
集成 M81-SSM 和 SMU-10 源测量模块，打造完整的 I-V 表征解决方案
Lake Shore致力于帮助客户推动科技进步，造福人类
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