产品信息

十六进制集群

PVD集群系统

秉承我们的灵活性和可升级性理念，Korvus 的 HEX PVD ​​集群系统允许用户从单个 HEX-L 室开始，然后连接更多的 HEX-L 室，以便在它们之间真空转移样品。

Korvus Technology 的 PVD ​​集群系统提供了一种解决方案，使薄膜沉积工艺更加灵活、更具成本效益和高效。

我们的 HEX PVD ​​系统具有独特的多功能性。

高度模块化的设计优先考虑使用薄膜沉积的制造商和研究人员的定制和灵活性。

HEX PVD ​​集群系统可持续、高效地生产薄膜。通过HEX PVD集群系统，您可以：

开发多层不同类别的材料

将薄膜沉积过程的不同阶段放入不同的室中

通过更多沉积室、来源和工具扩大 PVD ​​产能

您的研究面向未来

由于 HEX-L 系统是高度模块化的，因此您可以从基本模型开始，然后根据需要进行升级。使用这种方法可以消除不必要的停机时间和安装成本。我们的系统适合各种研究和制造目的。

多室系统在薄膜沉积过程中如何工作？

PVD集群系统由三个组件组成：

真空装载室

处理室

中央机器人

该过程首先通过真空下的机器人传送引入基板。

然后，您可以使用预清洁层或活化层处理基材。

然后通过与特定材料相关的任何可能的 PVD ​​技术沉积主要材料。借助 HEX-L 等多室系统，您可以同时使用多种沉积技术。然后将薄膜均匀地转移到基材上。

然后可以卸载涂层样品并用于各种工艺。

HEX Cluster 系统通过使用自动化、多晶圆载体和多技术沉积，使薄膜沉积过程更具成本效益、及时且有效。

使用源进行定制

大多数薄膜沉积系统的功能有限。 HEX-L 系统可满足您的需求。我们有多种沉积源来定制系统中使用的源，包括：