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手套箱集成

在处理空气敏感材料时，将 HEX 系列系统集成到手套箱中至关重要。 HEX 系列独特的模块化使其能够以不同于传统 PVD ​​系统的方式完成此操作。

手套箱是惰性环境，通常充满氩气，可以在其中储存和处理对空气敏感的材料。如果研究人员希望使用有机基材或锂等挥发性金属，他们可能希望将 PVD ​​室集成到手套箱中。

传统的 PVD ​​手套箱集成涉及将 PVD ​​室直接放置在手套箱内，这会占用大量空间并存在污染风险。 HEX 系列设计的主要优点之一是所有系统（HEX、HEX-L 和 HEX-XL）都可以通过地板集成到手套箱中。

这种不同的方法最大限度地减少了手套箱内占用的空间，并方便接触基材。此外，HEX 系列的腔室面板位于手套箱下方，这意味着任何腔室清洁都可以轻松进行，并且不会污染手套箱。购买系统时不需要执行此集成过程；购买后，可以随时将腔室集成到手套箱中和/或将其从手套箱中取出。

集成也可以通过 HEX-L/XL 的前装载门完成。这种设计非常适合装载空气敏感的沉积材料。这两种选项都适用于我们的大型系统。

最后，我们的加载锁组件与手套箱接口兼容，因此可以将样品直接从手套箱加载到加载锁，从而提高系统的整体吞吐量。

HEX 系列薄膜沉积系统为您的研究和实施应用提供了独特、多功能的沉积选项。无论您的研究带您走向何方，HEX 系列都将伴您左右。