产品信息

SynchroSpin® 平面化涂层系统

闭盖同向旋转镀膜机 - 提高平坦度并减少浪费

描述

衣帽碗、旋转卡盘和衣帽碗盖均同步旋转。这种同向旋转闭盖涂布机使涂布碗内的空气湍流接近于零，从而改善了涂层平坦化并大大减少了化学品消耗。

SynchroSpin® 涂层系统是 C&D 最先进的涂层系统变体，其特点是闭盖涂层碗的顶部和底部同时旋转，以实现更受控的环境，在旋涂过程中光致抗蚀剂在基材上铺展。

特别设计的涂布机插件还配备了获得专利的集成背面自动清洗功能。我们获得专利的 BEBR 和脱离功能具有可编程配方步骤，可以使同向旋转基板与旋转卡盘一起脱离旋转，从而允许进入晶圆背面进行清洁和其他处理步骤。

您的下一个 P9000 工具可用作独立的镀膜机，或与其他标准镀膜机模块一起使用，将满足当今半导体行业的严格要求。