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Metal Lift-Off System
C&D 提供 P9000 和 P8000 剥离系统,它们是全自动的,专为金属剥离应用而设计。盒对盒设计减少了整个系统的占地面积。 C&D 使用低压喷雾将晶圆浸泡一段设定的时间,然后进行高压细针喷雾。编程臂扫过晶圆,均匀地去除不需要的金属。
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金属剥离系统
C&D 提供 P9000 和 P8000 剥离系统,它们是全自动的,专为金属剥离应用而设计。盒对盒设计减少了整个系统的占地面积。 C&D 使用低压喷雾将晶圆浸泡一段设定的时间,然后进行高压细针喷雾。编程臂扫过晶圆,均匀地去除不需要的金属。
我们最先进的金属剥离模块用途广泛,可以实现许多不同的功能,以提高效率和能力。单个 P9000 集群系统中最多可配备 5 个独立模块,以最大限度地提高吞吐能力。
与我们所有其他模块一样,C&D 能够完全定制我们的系统和模块功能,以满足特定客户的需求。选项包括将排水管改道用于废物管理,以及回收收集容器以回收在金属剥离处理过程中取下的有价值的金属。
升空选项:
加热溶剂
高压能力
灭火
多次分配,包括喷雾/流
分流阀(溶剂和水分离)
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