产品信息

框架处理系统

P9000自动/手动框架涂布机及加工系统

P9000 框架镀膜机系统是一款软件控制的锯前晶圆镀膜和锯后晶圆清洁系统。该系统采用高性能主轴电机和高精度步进电机，可自动或手动模式操作，适用于不同框尺寸的薄晶圆。

C&D 开发了专门的模块，用于在带架和扩展箍环上处理晶圆，用于在切片处理前后处理基板。 C&D 开发了特殊的晶圆处理解决方案，可在同一工具中同时在带架和箍环上传输和旋转晶圆。专用晶圆清洁和涂层模块设计为双重用途，可用作带框涂层机和箍环清洁器，并可配备多种用于晶圆清洁的化学机械搅拌，包括氮气吸气喷雾。

帧处理选项：

氮气吹除

多孔卡盘

镜框边缘干净

定制盒式磁带

热板烤箱