产品信息

Beneq Transform® XP

Beneq Transform® XP 将小批量热 ALD、等离子体增强 ALD 与专有的循环退火步骤相结合，为先进的功率和射频器件提供均匀的薄膜、稳定的界面和高质量的材料特性。

Beneq Transform®

Beneq Transform® 是适用于电力电子、MEMS 和传感器、RF、LED、光子学和先进封装应用的一站式 ALD 工具解决方案。

Beneq Transform® 300

Beneq Transform® 300 将热 ALD 和等离子 ALD 结合在集成的 300 mm 集群工具中，适用于 CIS、电源、Micro-OLED/LED 和先进封装等 MtM 应用。